mems惯性传感器是什么_mems传感器应用领域
作者： 扬兴科技 日期：2018-12-20 浏览量：
mems惯性传感器主要是指mems加速度计和mems陀螺仪。mems惯性传感器在1990年代开始规模应用在汽车工业和国防工业，20世纪初开始应用于手机mems陀螺仪和mems加速度计，均由一颗mems芯片和一颗asic芯片组成，二颗芯片封装一起构成了陀螺仪或加速度计，如图2-2-2所示。等消费电子领域，物联网有望引领下一波增长浪潮(如图2-1-1所示)。
集成若干轴加速度计和陀螺仪为一体，可构成imu(inertial measurement unit惯性测量单元)，imu可用于测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度。st的九轴mems imu传感器(三轴陀螺仪 三轴加速度计)、invensense的九轴imu传感器(三轴陀螺仪 三轴加速度计)，如图2-2-3所示。
低精度的mems惯性传感器的应用领域以消费电子为代表，如手机、游戏机、无线鼠标、数码相机、硬盘保护、计步器、防盗系统、gsp导航、老人健康检测、玩具、玩具级无人机、智能运动器械等产品中，基本功能是测量物体的直线加速度、倾斜角度、转动速度、振动频率和力度等，这些基本的物理信号通过应用程序的开发，可以衍生出各种各样的功能。主要供应商为st、bosch、invensense(tdk)、mcube、苏州明皓、kionix(rohm)等。
中精度的mems惯性传感器的应用领域以汽车为代表，主要功能为：安全气囊触发、电子稳定系统、防侧翻、轮胎防盗、tpms(胎压监控)、gps辅助导航、自动驾驶等。根据功能不同规格不同，如安全气囊触发的加速度计量程在±70g～±100g，电子稳定系统、防侧翻等的加速度计量程～±2g，零偏温漂在±0.1～±1mg/℃，电子稳定系统的陀螺仪的量程在±200°/s～±500°/s，零偏稳定性(常温allen)在2～15°/h，另外还有精密农业、工业自动化、大型医疗设备、机器人、工厂机械、工业级无人机、仪器仪表、轨道交通等应用领域。主要供应商为adi、bosch、松下、精工、murata、silicon sensing、infineon、memsic等。
高精度的mems惯性传感器的应用以航天和国防领域为代表，包括导弹导引头、通信天线指向控制、智能炮弹、光学瞄准稳定系统、水下物体导航、飞机姿态监控、战场机器人等，其性能指标要求全工作温度区域得到保证，其中小量程加速度计的量程在10～100g，零偏稳定性<10mg;大部分陀螺仪的量程在100°/s～500°/s，零偏稳定性(常温allen)在0.2°/h～1°/h。主要供应商为honeywell、bei、sensonor、colibrys、endevco、systron donner、sagem等。
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