全硅mems振荡器与石英晶体振荡器-凯发真人娱乐k8

首先，从工作原理来看，mems振荡器它是由一个全硅的mems谐振器（类似一颗无源石英谐振器）和一个可编程analog cmos驱动芯片组成的。而石英晶体振荡器它也是由一个石英晶体和一颗ic 组成的。他们之间的大体结构，以及工作模型是一致的。然他们之间的不同，在于以下几个方面：

第一，谐振子的不同，即频率源有本质的区别，mems器件采用的静电驱动悬梁臂，以悬梁臂的谐振频率作为基准频率, 他可以通过程序任意倍频而输出各种需要的工作的频率。而石英晶振利用的石英材料的压电特性，用石英晶片的频率作为工作频率，其工作频率就是里面的石英晶片的频率；mems器件一个基准频率可以输出很多的频率；而石英晶振是基准频率就是其工作频率;这正是全硅mems振荡器的一个很重要的方便之处，其快速交货能力正是来源于此，对比晶振工艺，晶振制程显得比较复杂的原因所在。

第二，驱动芯片的特性，mems采用的是可编程cmos芯片，故输出只能是方波；而石英晶振所使用的芯片就比mems广泛，所以其输出特性不仅仅有方波，还有正弦波等各种波形。全硅mems振荡器只能输出方波，所以在对输出有特别要求的场合下，全硅mems振荡器可能满足不了客户需求，而这又凸显是石英晶体振荡器的性能的全面性。

第三，材料及封装结构，从这个方面来说，确实是mems的无可比拟的优势，晶圆的制造工艺，在结构上和产品小型化方面有其独特的优势；而使用晶振在体积超小型化方面，因受到材料特性，以及工艺条件出现瓶颈，同时在成本上也明显不占有优势。